Bidh sinn a 'cuideachadh an t-saoghail a' fàs bho 1983

Fuasglaidhean teicneòlais airson siostaman lìbhrigidh gas àrd-pures airson pròiseasan semiconductor

Tha teicneòlas pìobaireachd gas àrd-putress na phàirt chudromach de shiostam gas gas-làidir, a tha na phrìomh theicneòlas gus am gas riatanach a lìbhrigeadh agus a 'cumail a' chàileachd teisteanasach; Tha teicneòlas pìobaireachd gas àrd-putress a 'toirt a-steach dealbhadh ceart an t-siostam, an taghadh de chriathran agus sgeadachadh, togail agus stàladh, agus deuchainn. Anns na beagan bhliadhnaichean a dh 'fhalbh, tha na riatanasan a tha a' sìor fhàs teann air sunnd gasaichean àrd-inbhe a tha air a riochdachadh le cuairtean dìomhaireachd a tha nas fhasa agus a dhaingneachadh. Tha na leanas na shealladh goirid air pìobaireachd gas àrd-nàdarrach bho thaghadh stuthanof togail, a bharrachd air gabhail agus riaghladh làitheil.

Seòrsaichean Gases Coitcheann

Seòrsachadh gasaichean cumanta anns a 'ghnìomhachas dealanach:

Gases cumanta(Gas mòr): Hydrogen (h2), nitrogen (n2), ocsaidean (o2), Argon (A.2), msaa.

Gases sònraichtetha SIH4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,Hcl,CF4 ,NH3,Pocl3, Sih2cl2 Sihcl3,NH3,  Bcl3 ,SIF4 ,CFL3 ,Co,C2F6, N2o,F2,HF,HBR sF6...... msaa.

Mar as trice faodar na seòrsachan de ghasan sònraichte a bhith air an seòrsachadh mar cheartasgas, puinnseantagas, lasantagas, a 'tighinn còmhlagas, inertgas, msaa. Tha na gasaichean semicondUr ann mar as trice air an comharrachadh mar a leanas.

(i) Clatrain / puinnseantagas: Hcl, bf3, WF6, HBB, SIH2Cl2, Nh3, PH3, CL2, BCL3... msaa.

(ii) Lasachadhgas: H2, Ch4, Soi4, PH3, Ash3, SIH2Cl2, B2H6, Ch2F2,Ch3F, Co ... msaa.

(iii) trèibheachdgas: O2, CL2, N2O, NF3... msaa.

(iv) inertgas: N2, Cf4, C2F6, C4F8,Sf6, Co. Co.2, NE, Kr, HE ... msaa.

Tha mòran de ghasan semiconductor a 'cronail do chorp daonna. Gu sònraichte, cuid de na gasaichean sin, leithid Sih4 Bidh cothlamadh gun spionnadh, fhad 's a chuireas tu gu fòirneart leis an ocsaidean san adhar agus tòisich a' losgadh; agus luaithre3Dh 'fhaodadh gum bi cunnart beag sam bith ann an cunnart sam bith a bhith a' cur cunnart bho na cunnartan follaiseach sin, agus mar sin tha na riatanasan airson sàbhailteachd dealbhadh an t-siostaim gu sònraichte àrd.

Farsaingeachd nan gasaichean  

As an important basic raw material of modern industry, gas products are widely used, and a large number of common gases or special gases are used in metallurgy, steel, petroleum, chemical industry, machinery, electronics, glass, ceramics, building materials, construction, food processing, medicine and medical sectors. Tha buaidh chudromach aig cleachdadh gas air teicneòlas àrd nan raointean sin gu sònraichte, agus is e gas no gas pròiseas amh no pròiseas a th 'ann. Is ann dìreach le feumalachdan agus adhartachadh diofar roinnean gnìomhachais ùra agus saidheans agus teicneòlas an latha an-diugh, faodar toraidhean gnìomhachas a 'ghas a leasachadh le bhith a' leum agus a 'crìochnachadh a thaobh measgachadh, càileachd agus meud.

Iarrtas gas ann am microelectronics agus gnìomhachas semiconductor

Tha àite cudromach a-riamh air a bhith a-riamh ann am pròiseas semiconduman, gu sònraichte air gnìomhachas Semi-Lcd a chleachdadh don ghnìomhachas meanbh-ghuidhe (MEMS) a tha a 'cleachdadh a' phròiseas semiconductor sin mar phròiseas saothrachaidh. Tha buaidh chinnteach air còmhdhail a 'ghas air coileanadh phàirtean agus toradh toraidh, agus tha sàbhailteachd an t-solair gas co-cheangailte ri slàinte luchd-obrach agus sàbhailteachd gnìomhachd planntrais.

Brìgh pìobaireachd àrd-purity ann an còmhdhail gas àrd-dìon

Ann am pròiseas stàilinn gun staoin a 'leaghadh agus a' dèanamh stuth, faodar timcheall air 200G de ghs a ghabhail a-steach gach tonna. Às deidh giullachd stàilinn as sine, chan ann a-mhàin a tha a 'sòlach uachdar le diofar thruailleadh, ach cuideachd na lattice meatailt cuideachd air a ghabhail a-steach tomhas de ghas. Nuair a bhios sruth-adhair ann tron ​​loidhne-phìoban, tha am meatailt a 'gabhail a-steach am pàirt seo den gas a-steach don phrìosan adhair, a' truailleadh a 'ghas fìor. Nuair a tha an sruth-adhair san tiùb glè bheag de shruth gun stad, bidh na tube a 'cumail a' ghas fo chuideam, agus bidh an gas rèiteach cuideachd a 'dol a-steach don ghas fìor anns an tiùb mar neo-chàirdeas. Aig an aon àm, tha an aimsreachadh agus rùn air an ath-aithris, gus am bi am meatailt air uachdar a-staigh na tiùb cuideachd a 'dèanamh deagh bheachd a' ghas fìor taobh a-staigh an tiùb. Tha an caractar seo den tiùbalachd deatamach gus dèanamh cinnteach nach bi purrachd a 'ghas a chaidh a ghiùlan, a dh' fheumas a-mhàin gu math àrd de uachdar a-staigh an tiùb, ach tha an aghaidh àrd.

Nuair a thèid an gas le coileanadh làidir crùbach, feumar pìoban stàilinn seann-fhasanta a chorpachadh airson pìobaireachd. Rud eile, bheir a 'phìob spotan creimearachd air an uachdar a-staigh air sgàth creimeadh, agus ann an droch chùisean, bidh raon mòr de stiall meatailt no eadhon a' truailleadh a 'ghas-ghlan.

Tha ceangal a 'punntachd agus pìoban cuairteachaidh àrd-sheasmhach de ìrean mòra sruthaidhean mòra.

Ann am prionnsapal, tha iad uile air an tàthadh, agus chan fheum na tiùban a chleachdadh ann a bhith ag atharrachadh ann am buidheann nuair a thèid tàthadh a chuir an sàs. Tha stuthan le susbaint ro àrd fo ùprachd nan pàirtean tàthain a-staigh agus taobh a-muigh na pàirc, tiormachd agus a 'sgrios ar n-oidhirpean uile.

Ann an geàrr-chunntas, airson gas àrd-ùrlar àrd-purity, feumar làimhseachadh sònraichte a chleachdadh (a 'toirt a-steach pìoban-pìobair àrd (vmp) ann an cuairteachadh gas àrd-nàrach ann an cuairteachadh gas deatamach.

Bun-bheachd coitcheann de theicneòlas glan airson pìoban sgaoilte agus sgaoilidh

Tha sgaoileadh a 'chuirp gu math glan agus glan le pìobaireachd a' ciallachadh gu bheil riatanasan no smachdan no smachdan no smachd ann airson trì taobhan den ghas a tha ri ghiùlan.

Gas purity: The content of impurity atmosphere in the gGas purity: The content of impurity atmosphere in the gas, usually expressed as a percentage of gas purity, such as 99.9999%, also expressed as the volume ratio of impurity atmosphere content ppm, ppb, ppt.

Tiormachd: An ìre de Thischeall lorg anns a 'ghas, no an t-suim ris an canar fliuch a chaidh a chuir an cèill a thaobh Puing Dew, leithid cuideam àil -7 -70. C.

Glanceachd: An àireamh de ghràineanan tar-mhàmhachdach a tha sa ghsar, mìrean gràin de μm, cia mheud gràin / m3 a chaidh a chuir an cèill, mar as trice a thaobh cia mheud MG / M3 de na fèistean rèidh a tha comasach, a tha a 'còmhdach susbaint na h-ola.

Seòrsachadh meud polltairant: Tha gràineanan truaillte, mar as trice a 'toirt iomradh air sgeul pìobair pìoba, a bharrachd air broinneilichean, msaa, a rèir meud a' mheuran mhothaich tha a 'mhainneis a chaidh a roinn a-steach

a) mìrean mòra - meud gràineil os cionn 5μm

b) Pretletele - tripiche stuthan eadar 0.1μM-5μm

c) gràineanan ultra--mearach - meud gràineil nas lugha na 0.1μm.

Gus buileachadh an teicneòlas seo a neartachadh, a bhith comasach air tuigse lèirsinneach de mheud adhartach agus aonadan μM a bhith, tha seata de inbhe sònraichte sònraichte air a thoirt seachad airson iomradh

Tha na leanas na choimeas de ghràineanan sònraichte

Ainm / Meud Tìrean (μM)

Ainm / Meud Tìrean (μM) Ainm / Meud Tìrean (μm)
Bhìoras 0.003-0.0 Aerosol 0.03-1 Microdrom aeropled 1-12
Connadh niùclasach 0.01-0.1 Peant 0.1-6 Itealaich luaithre 1-200
Carbon Black 0.01-0.3 Pùdar bainne 0.1-10 Piasichide 5-10
Resin 0.01-1 Bacteria 0.3-30 Litreachadh Ìre 5-100
Ceò thoitean 001-1 Dust Sand 0.5-5 Poilean 10-15
Silicone 0.02-0.1 Pivesidide 0.5-10 Falt daonna 50-120
Salt Crystallized 0.03-0.5 Duslach sulfure co-chòrdail 1-11 Gainmheach na mara 100-1200

Ùine a 'phuist: Jun-14-2022