Tha teicneòlas pìobaireachd gas àrd-ghlan na phàirt chudromach den t-siostam solarachaidh gas àrd-ghlan, is e sin am prìomh theicneòlas gus an gas àrd-ghlan a tha a dhìth a lìbhrigeadh don àite cleachdaidh agus a bhith fhathast a’ cumail suas càileachd barrantaichte;Tha teicneòlas pìobaireachd gas fìor-ghlan a’ toirt a-steach dealbhadh ceart an t-siostaim, taghadh uidheamachd agus sgeadachadh, togail is stàladh, agus deuchainn.Anns na beagan bhliadhnaichean a dh ’fhalbh, tha na riatanasan a tha a’ sìor fhàs teann air susbaint fìor-ghlan agus neo-chunbhalachd gasaichean fìor-ghlan ann an cinneasachadh toraidhean microelectronics a tha air an riochdachadh le cuairtean aonaichte air sgèile mhòr air barrachd dragh agus cuideam a chuir air teicneòlas pìobaireachd gasaichean fìor-ghlan.Tha na leanas na gheàrr-chunntas goirid air pìoban gas àrd-ghlan bho thaghadh stuthanof togail, a bharrachd air gabhail ris agus riaghladh làitheil.
Seòrsaichean gas cumanta
Seòrsachadh gasaichean cumanta ann an gnìomhachas eileagtronaigeach:
Gasaichean cumanta（Gas mòr）: hydrogen (H2), nitrigin (N2), ocsaidean (O2), argon (A2), etc.
Gasaichean sònraichtetha SiH4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,SIF4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… etc.
Mar as trice faodaidh na seòrsaichean gasaichean sònraichte a bhith air an seòrsachadh mar chreimneachgas, puinnseantagas, lasantagas, loisgtegas, neo-sheasmhachgas, msaa. Tha na gasaichean semiconductor a chleachdar gu cumanta air an seòrsachadh mar a leanas.
(i) Creimneach / puinnseantagas: HCl, BF3, WF6, HBr, SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, BCl3…etc.
(ii) Soilleireachdgas:h2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, b2H6, CH2F2,CH3F, CO...
(iii) combustibilitygas:o2, Cl2, n2Ach, NF3… etc.
(iv) Inertgas:n2, CF4, c2F6, c4F8,SF6, CO2, Ne, Kr, He… etc.
Tha mòran de ghasaichean semiconductor cronail do chorp an duine.Gu sònraichte, tha cuid de na gasaichean sin, leithid SiH4 losgadh gun spionnadh, fhad ‘s a bhios aodion a’ dèiligeadh gu brùideil leis an ocsaidean san adhar agus a ’tòiseachadh a’ losgadh;agus AsH3gu math puinnseanta, faodaidh aodion beag sam bith a bhith na chunnart do bheatha dhaoine, tha e air sgàth nan cunnartan follaiseach sin, agus mar sin tha na riatanasan airson sàbhailteachd dealbhadh an t-siostaim gu sònraichte àrd.
Raon tagraidh gasaichean
Mar stuth amh bunaiteach cudromach ann an gnìomhachas an latha an-diugh, tha toraidhean gas air an cleachdadh gu farsaing, agus thathas a ’cleachdadh àireamh mhòr de ghasaichean cumanta no gasaichean sònraichte ann am meatailteachd, stàilinn, peatroil, gnìomhachas ceimigeach, innealan, eileagtronaigeach, glainne, ceirmeag, stuthan togail, togail. , giollachd bìdh, cungaidh-leigheis agus roinnean meidigeach.Tha buaidh chudromach aig cleachdadh gas air teicneòlas àrd nan raointean sin gu sònraichte, agus is e gas stuth amh neo-riatanach no gas pròiseas a th’ ann.Is ann dìreach le feumalachdan agus adhartachadh diofar roinnean gnìomhachais ùra agus saidheans agus teicneòlas an latha an-diugh, faodar toraidhean gnìomhachas a’ ghas a leasachadh le leuman is crìochan a thaobh measgachadh, càileachd agus meud.
Iarrtas gas ann an gnìomhachas microelectronics agus semiconductor
Tha àite cudromach air a bhith aig cleachdadh gas anns a’ phròiseas semiconductor a-riamh, gu sònraichte tha am pròiseas leth-chonnsair air a chleachdadh gu farsaing ann an grunn ghnìomhachasan, bhon ULSI traidiseanta, TFT-LCD chun ghnìomhachas meanbh-dealanach meacanaigeach (MEMS), uile de a bhios a’ cleachdadh a’ phròiseas semiconductor ris an canar mar phròiseas saothrachaidh thoraidhean.Tha buaidh chinnteach aig purrachd a’ ghas air coileanadh phàirtean agus toradh toraidh, agus tha sàbhailteachd an t-solair gas co-cheangailte ri slàinte luchd-obrach agus sàbhailteachd gnìomhachd planntrais.
Cudromachd pìobaireachd àrd-ghlan ann an còmhdhail gas àrd-ghlan
Ann am pròiseas leaghadh agus dèanamh stuth stàilinn gun staoin, faodar timcheall air 200g de ghas a ghabhail a-steach gach tunna.Às deidh giullachd stàilinn gun staoin, chan e a-mhàin gu robh an uachdar steigeach aige le diofar stuthan truailleadh, ach cuideachd anns an leaghan meatailt aige cuideachd a ’gabhail a-steach tomhas sònraichte de gas.Nuair a bhios sruth-adhair tron loidhne-phìoban, bidh am meatailt a ghlacas a’ phàirt seo den ghas a’ dol a-steach don t-sruth-adhair a-rithist, a’ truailleadh an gas fìor-ghlan.Nuair a tha an t-sruth-adhair anns an tiùb mar shruth neo-sheasmhach, bidh an tiùb a’ gabhail ris a’ ghas fo chuideam, agus nuair a stadas an sruth-adhair a’ dol seachad, bidh an gas a tha air a shanasachadh leis an tiùb a’ cruthachadh tuiteam cuideam airson fuasgladh, agus bidh an gas fuasglaidh cuideachd a’ dol a-steach don ghas fìor-ghlan anns an tiùb. mar neo-thruaillidheachd.Aig an aon àm, bidh an sùghadh agus an rùn air an ath-aithris, gus am bi am meatailt air uachdar a-staigh an tiùba cuideachd a ’toirt a-mach tomhas sònraichte de phùdar, agus bidh na gràinean duslach meatailt seo cuideachd a’ truailleadh an gas fìor-ghlan taobh a-staigh an tiùba.Tha am feart seo den phìob riatanach gus dèanamh cinnteach à purrachd a’ ghas a tha air a ghiùlan, a dh’ fheumas chan e a-mhàin rèidh fìor àrd de uachdar a-staigh an tiùba, ach cuideachd neart caitheamh àrd.
Nuair a thèid an gas le coileanadh làidir creimneach a chleachdadh, feumar pìoban stàilinn gun staoin a tha an aghaidh creimeadh a chleachdadh airson pìobaireachd.Rud eile, bheir a’ phìob a-mach spotan corrach air an uachdar a-staigh mar thoradh air corrach, agus ann an droch shuidheachaidhean, bidh raon mòr de rùsgadh meatailt no eadhon perforation, a thruailleas an gas fìor-ghlan a thèid a sgaoileadh.
Ceangal pìoban tar-chuir agus cuairteachaidh gas àrd-ghlan agus àrd-ghlan de ìrean sruth mòr.
Ann am prionnsabal, tha iad uile air an tàthadh, agus chan fheum na pìoban a thathar a 'cleachdadh atharrachadh sam bith a bhith aca nuair a thèid tàthadh a chur an sàs.Tha stuthan le susbaint gualain ro àrd fo ùmhlachd do thruailleadh èadhair nam pàirtean tàthaichte nuair a tha iad a’ tàthadh, a tha a’ fàgail gasaichean a-staigh agus a-muigh taobh a-staigh agus taobh a-muigh na pìoba agus a’ sgrios purrachd, tiormachd agus glainead a’ ghas tar-chuir, a’ leantainn gu call ar n-oidhirpean uile.
Ann an geàrr-chunntas, airson loidhne-phìoban tar-chuir gas àrd-ghlan agus gas sònraichte, feumar làimhseachadh sònraichte de phìob stàilinn stainless àrd-ghlan, gus siostam loidhne-phìoban àrd-ghlan a dhèanamh (a ’toirt a-steach pìoban, criathran, bhalbhaichean, VMB, VMP) ann an tha cuairteachadh gas àrd-ghlan na mhisean deatamach.
Bun-bheachd coitcheann de theicneòlas glan airson pìoban tar-chuir agus cuairteachaidh
Tha tar-chuir bodhaig gas fìor-ghlan agus glan le pìobaireachd a’ ciallachadh gu bheil riatanasan no smachdan sònraichte ann airson trì taobhan den ghas a tha ri ghiùlan.
Purity gas: Susbaint àile neo-chunbhalachd ann an purrachd gGas: susbaint àile neo-chunbhalachd anns a ’gas, mar as trice air a chuir an cèill mar àireamh sa cheud de purrachd gas, leithid 99.9999%, cuideachd air a chuir an cèill mar an co-mheas meud de shusbaint àile neo-chunbhalachd ppm, ppb, ppt.
Tiormachd: an ìre de taiseachd lorg anns a ’gas, no an ìre ris an canar fliuch, mar as trice air a chuir an cèill a thaobh puing drùchd, leithid puing drùchd cuideam àile -70.c.
Glaineachd: an àireamh de ghràinean truaillidh a tha sa ghas, meud gràin de µm, cia mheud mìrean / M3 airson a chuir an cèill, airson èadhar teann, mar as trice cuideachd air a chuir an cèill a thaobh cia mheud mg / m3 de fhuigheall cruaidh do-sheachanta, a tha a ’còmhdach susbaint na h-ola .
Seòrsachadh meud truailleadh: mìrean truaillidh, gu ìre mhòr a’ toirt iomradh air sgùradh loidhne-phìoban, caitheamh, coirbeachd air a ghineadh le mìrean meatailt, gràinean sùgh àile, a bharrachd air meanbh-fhàs-bheairtean, phages agus boinneagan dùmhlachd gas anns a bheil taiseachd, msaa, a rèir meud meud a ’ghràin. air a roinn 'na
a) Mìrean mòra - meud gràin nas àirde na 5μm
b) Particle - trast-thomhas stuth eadar 0.1μm-5μm
c) Mìrean ultra-micro - meud gràin nas lugha na 0.1μm.
Gus cur ri cleachdadh an teicneòlais seo, gus a bhith comasach air tuigse lèirsinneach fhaighinn air meud mìrean agus aonadan μm, tha seata de dh’ inbhe mìrean sònraichte air a thoirt seachad airson iomradh
Tha na leanas na choimeas de ghràinean sònraichte
| Ainm / Meud pìos (µm) | Ainm / Meud pìos (µm) | Ainm/ Meud nam mìrean (µm) |
| Bhìoras 0.003-0.0 | Aerosol 0,03-1 | Microdroplet aerosolized 1-12 |
| Connadh niuclasach 0.01-0.1 | Paint 0.1-6 | Lusan itealaich 1-200 |
| Carbon dubh 0.01-0.3 | Pùdar bainne 0,1-10 | Pesticide 5-10 |
| Roisín 0.01-1 | Bacteria 0.3-30 | Dust saimeant 5-100 |
| Smoc toitean 0.01-1 | Duslach gainmhich 0,5-5 | Poilean 10-15 |
| Silicone 0.02-0.1 | Pesticide 0,5-10 | Falt daonna 50-120 |
| Criostal salann 0,03-0.5 | Duslach sulbhur cuimseach 1-11 | gainmheach mara 100-1200 |
Ùine a’ phuist: Jun-14-2022